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P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn)
X軸行程 18μm/ 軸
開(kāi) / 閉環(huán)可選
Z 向行程 8μm
開(kāi) / 閉環(huán)可選
真空版本可選
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | S-閉環(huán) K-開(kāi)環(huán) | P63.X18Z8S | P63.X18Z8K | 單位 |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X、Z | X、Z | ||
驅(qū)動(dòng)控制 | 2路驅(qū)動(dòng)，2路傳感 | 2路驅(qū)動(dòng) | ||
標(biāo)稱(chēng)行程范圍（0 ~+120 V） | X:16, Z:6 | X:16, Z:6 | μm±10% | |
Max.行程范圍（0~+150 V） | X:18, Z:8 | X:18, Z:8 | μm±10% | |
傳感器類(lèi)型 | SGS | - | ||
閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | X0.6 Z0.2 | X0.2 Z0.1 | nm | |
閉環(huán)線性度 | X:0.3, Z:1 | - | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.25 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動(dòng) | ≤15 | ≤15 | μrad | |
空載諧振頻率 | X2/Z1 | X2/Z1 | KHz±20% | |
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 8 | 0.5 | ms±20% | |
承載能力 | 0.5 | 0.5 | kg | |
靜電容量 | X:1.8, Z0.8 | X:1.8, Z0.8 | μF±20% | |
工作溫度范圍 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | ||
出線長(zhǎng) | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺(tái) 尺寸圖
